De MgZnO monocristalino a Ga2O3 amorfo: desarrollo y selección de detectores fotovoltaicos ultravioleta profundo

LIANG Huili ,  

ZHU Rui ,  

DU Xiaolong ,  

MEI Zengxia ,  

摘要

Los semiconductores de banda ancha tienen un gran potencial para el desarrollo de detectores ultravioleta compactos sin filtro y ciegos a la luz diurna. Este artículo, basado en la experiencia de nuestro equipo en la epitaxia por haces moleculares de películas monocristalinas de MgZnO y en la pulverización catódica magnética de películas amorfas de Ga2O3 así como en los detectores ultravioleta ciegos a la luz diurna correspondientes, revisa los avances en la investigación de detectores de ultravioleta profundo basados en óxidos semiconductores de banda ancha, representados por MgZnO y Ga2O3 amorfos. Se ha descubierto que las películas amorfas de Ga2O3 poseen características de respuesta a ultravioleta profundo que no son inferiores a las de las películas monocristalinas. Numerosos estudios indican que los defectos relacionados con las vacantes de oxígeno juegan un papel crucial en el rendimiento del dispositivo y que su regulación adecuada puede mejorar eficazmente el rendimiento del dispositivo. Además, el efecto de fotoconductividad persistente asociado con las vacantes de oxígeno proporciona una nueva perspectiva para el desarrollo de dispositivos fotoneurales ultravioleta profundos. Finalmente, se analizan y resumen los problemas existentes en las investigaciones anteriores, con la esperanza de impulsar aún más las aplicaciones industriales de materiales semiconductores de óxido de banda ancha, especialmente el Ga2O3 amorfo, en la detección ultravioleta profunda futura.

关键词

Ultravioleta ciego a la luz diurna; detector fotoeléctrico; óxido de magnesio y zinc; óxido de galio; amorfo

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