Para investigar la eficiencia de inactivación viral de dispositivos LED basados en AlGaN con diferentes longitudes de onda de emisión fabricados sobre un sustrato de AlN tratado térmicamente a alta temperatura, se fabricaron 7 grupos de dispositivos LED UV profundos basados en AlGaN con longitudes de onda de emisión entre 257 y 294 nm, y se estudió su eficiencia para inactivar el virus Coxsackie. Los resultados experimentales muestran que el tratamiento térmico a alta temperatura del sustrato de AlN puede reducir la densidad de dislocaciones del sustrato AlN a 1.33×10⁷ cm^-2, estableciendo una buena base para fabricar dispositivos LED eficientes basados en AlGaN; bajo condiciones experimentales con una distancia de inactivación de 2 cm y un tiempo de irradiación ultravioleta de 30 s, los dispositivos LED basados en AlGaN con longitudes de onda centrales entre 257 y 278 nm alcanzaron una tasa de inactivación del virus Coxsackie ≥99.90%, mientras que los LED con longitudes centrales de 288 y 294 nm mostraron tasas de inactivación de 99.47% y 96.15%, respectivamente. Según estos resultados, los dispositivos LED basados en AlGaN con longitudes de onda entre 257 y 278 nm son adecuados para aplicaciones en el campo de la desinfección viral; bajo las condiciones experimentales de este trabajo, los LED UV profundos basados en AlGaN con longitudes de onda superiores a 288 nm mostraron menor efectividad en la inactivación viral.

Tratamiento térmico a alta temperatura;Sustrato AlN;AlGaN;LED;Inactivación viral