Para investigar la eficiencia de inactivación viral de dispositivos LED basados en AlGaN con diferentes longitudes de onda de emisión fabricados sobre sustratos de AlN tratados térmicamente a alta temperatura, se fabricaron 7 grupos de dispositivos LED UV profundos basados en AlGaN con longitudes de onda en el rango de 257 a 294 nm, y se estudió su eficiencia de inactivación del virus Coxsackie. Los resultados experimentales muestran que el tratamiento térmico a alta temperatura del sustrato de AlN puede reducir la densidad de dislocaciones del sustrato a 1.33×10⁷ cm^-2, estableciendo una buena base para la fabricación de dispositivos LED de alta eficiencia basados en AlGaN; los dispositivos LED basados en AlGaN fabricados sobre sustratos de AlN tratados térmicamente a alta temperatura, bajo condiciones experimentales con una distancia de inactivación de 2 cm y un tiempo de irradiación UV de 30 s, tienen una tasa de inactivación del virus Coxsackie ≥99.90% para los dispositivos con longitud de onda central entre 257 y 278 nm, mientras que los LED con longitud de onda central de 288 nm y 294 nm tienen tasas de inactivación del virus de sólo 99.47% y 96.15%, respectivamente. Según estos resultados, los dispositivos LED basados en AlGaN con longitudes de onda entre 257 y 278 nm son adecuados para su aplicación en el campo de desinfección viral; bajo las condiciones experimentales de este trabajo, los dispositivos LED UV profundos basados en AlGaN con longitud de onda mayor a 288 nm muestran un efecto pobre en la inactivación viral.

Tratamiento térmico a alta temperatura;Sustrato AlN;AlGaN;LED;Inactivación viral