Las excelentes propiedades materiales del diamante le otorgan un gran potencial de aplicación en el campo de la detección de ultravioleta solar ciego. En este artículo se utiliza un equipo de deposición química de vapor por plasma de microondas para depositar una película delgada de diamante sobre un sustrato de silicio monocristalino con superficie (111), y basado en esta película se fabrica un detector de UV solar ciego de diamante con estructura MSM de electrodos de grafito de interdigitación plana por piroilización de fotoresina, proporcionando un nuevo método para la realización de detectores de diamante totalmente de carbono. Los resultados muestran que la película de diamante sobre el sustrato de silicio es una película policristalina altamente orientada, con un ancho de pico a mitad de altura en el escaneo XRD de la superficie (111) de 0.093°, el pico característico del diamante en el espectro Raman a 1332 cm-1, y un ancho de pico a mitad de altura de 4 cm-1, indicando una alta calidad cristalina de la película; la corriente de oscuridad del detector UV de electrodos de grafito a un voltaje de polarización de 5 V es de 2.07×10-8 A, la relación corriente luz/oscuro es 77, las características de conmutación son buenas, y el detector con electrodos de grafito presenta una excelente respuesta temporal, con tiempo de subida de 30 ms y tiempo de bajada de 430 ms.

película de diamante;electrodo de grafito;detector UV solar ciego