Сверхлюминесцентные диоды (Superluminescent diode, SLD) основаны на явлении однонаправленного усиления спонтанного излучения, обладают высокой выходной мощностью, широким спектром излучения и низкой когерентностью. Они имеют широкие перспективы применения в биомедицинской визуализации, точных приборах и оптоволоконной связи, являясь одной из ключевых тем исследований третьего поколения полупроводниковых оптоэлектронных приборов. В статье подробно рассматриваются основные технологии изготовления SLD с трех аспектов: дизайн активного материала, регулировка структуры волновода и оптимизация оптической поверхности. С помощью комбинирования различных технологических подходов устройства SLD постоянно достигают прорывов в производительности, стабильности и интеграции. На этой основе обобщены достижения в применении приборов в оптической когерентной томографии, интерференционных волоконных гироскопах и системах волоконных датчиков, демонстрируя уникальные преимущества SLD. В заключение анализируются основные проблемы исследований SLD и перспективы их будущего развития.

сверхлюминесцентный диод; квантовая яма; структура волновода; оптическая когерентная томография