В статье рассматривается потребность FMCW (частотно-модулированного непрерывноволнового) оптического фазированного массива лидар в широкополосных источниках с узкой шириной линии, предлагается тунированный узкоспектральный лазер на кремниевом нитриде кремния с внешним резонатором с тремя микрокольцами, покрывающий S-диапазон. Конструкция использует низкопотерянный волновод Si₃N₄ и оптико-усилительный отражательный полупроводниковый усилитель на базе InP в гибридной интеграции, реализует широкий спектр настройки 88 нм (1450~1538 нм) с помощью механизма сканирования трех микроколец и применяет длинный внешний резонатор и высококачественные микрокольца для сжатия ширины линии примерно до 0.89 кГц, совмещая регулируемое кольцевое отражающее зеркало Сагнака для оптимизации стабильности обратной связи. Результаты моделирования показывают, что лазер удовлетворяет требованиям FMCW оптического фазированного массива лидар в S-диапазоне по диапазону настройки, ширине линии и подавлению боковых мод, при этом выход S-диапазона подходит для высокочувствительных приемников на Ge/Si и может служить спектральным дополнением к существующим источникам C+L-диапазонов. В будущем возможно полное покрытие S+C+L диапазонов с помощью интеграции на чипе, обеспечивая высокопроизводительный и расширяемый источник света для полнотвердотельного лидар с большой угловой зоной сканирования.

Интегрированный внешний резонаторный лазер;Тунируемый лазер;Узкая ширина линии;Микрокольца