摘要
Экстремальные условия, такие как космическая оптическая связь и атомные электростанции, предъявляют жёсткие требования к надёжности и стабильности фотонных интегрированных устройств. Традиционные кремниевые волноводы в этих условиях подвергаются серьёзному риску деградации производительности, в основном из-за недостаточной устойчивости к ионизирующему излучению и химической чувствительности. В связи с этим в данной работе разработан и исследован новый тип оптического волновода на основе Ta2O5 с радиационной стойкостью и химической стабильностью. Конструкция волновода была оптимизирована на основе классической электромагнитной теории, а экспериментально доказано, что волновод обладает низкими потерями и хорошей способностью ограничения оптического режима. Кроме того, технология изготовления совместима с существующими полупроводниковыми технологиями, имеет хороший потенциал для интеграции и может быть использована для создания FP (резонатор Фабри-Перо), решётчатых волноводов и других селективных устройств для передачи и управления фотонами. Данное исследование предлагает высокопроизводительное и надёжное решение для стабильной работы систем оптической связи и сенсоров в условиях сильного излучения и высокой коррозии, демонстрируя широкий спектр возможных применений.
关键词
пентаоксид тантала; многослойная пленка; оптический волновод; анализ мод
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website