Двухмерные пленки двуокиси молибдена моноклинной кристаллической фазы обладают превосходными свойствами, сравнимыми с благородными металлами, и могут регулироваться по толщине пленки. Они демонстрируют большой потенциал применения в областях, таких как мониторинг окружающей среды, детекторы сточных вод и сенсоры. Одним из предварительных условий получения высокоэффективных приборов на основе двухмерных пленок двуокиси молибдена является возможность in situ быстрого и безразрушительного определения толщины пленки. В данной работе исследуется зависимость рамановского спектра двухмерной пленки двуокиси молибдена от толщины пленки, и предложен метод безразрушительного in situ контроля толщины. Используя возбуждающий источник с длиной волны 532 нм, изменение позиции характерного пика рамановского спектра при 127 см^-1 эффективно отражает изменение толщины материала. Путем изменения поляризации возбуждающего света дополнительно можно выполнить калибровку ориентации кристаллографической оси двуокиси молибдена. Результаты рамановской спектроскопии предоставляют эффективный и удобный способ мониторинга толщины пленок в устройствах на основе двухмерных пленок двуокиси молибдена.

Пленки двуокиси молибдена;Раман спектроскопия;Безразрушительный in situ контроль