摘要
Моноклинная двумерная плёнка двуокиси молибдена обладает выдающимися характеристиками, сопоставимыми с благородными металлами, и её можно регулировать толщиной плёнки. Она показывает огромный потенциал применения в областях экологического мониторинга, обнаружения сточных вод и сенсоров. Одним из предварительных условий получения высокопроизводительных двумерных устройств из двуокиси молибдена является возможность быстрого, неразрушающего измерения толщины плёнки in situ. В данной работе исследуется зависимость рамановского спектра двумерной плёнки двуокиси молибдена от толщины плёнки и предлагается способ для in situ неразрушающего контроля толщины плёнки. Используя 532 нм в качестве возбуждающего источника, изменение положения рамановского пика при 127 см-1 эффективно отражает изменение толщины материала. Путём изменения поляризации возбуждающего света дополнительно калибруется ориентация кристаллической оси плёнки. Результаты рамановской спектроскопии предоставляют эффективный и удобный метод для мониторинга толщины плёнки в устройствах из двумерной двуокиси молибдена.
关键词
двуокись молибдена; рамановская спектроскопия; in situ неразрушающий контроль