Широкая запрещенная зона оксида галлия идеально подходит для производства устройств для обнаружения ультрафиолетового излучения. Отклик устройств на основе тонких пленок на ультрафиолетовое излучение обычно невысок. Однако за счет высокой удельной поверхности и высокой кристаллической добротности наноматериалы обладают выдающимися фотоэлектрическими свойствами в приложениях устройств. Здесь нам удалось отложить β-оксид галлия в нанопоры σ-AОO с помощью импульсного лазерного осаждения. Мы использовали подготовленные точечными механическими методами AAO-матрицы, позволяющие рост наноматериалов, заполнив поры материалом оксида галлия, чтобы сформировать нанотрубчатую структуру. После оптимизации процесса исследованы отношения между свойствами нанотрубчатого окиси галлия и временем роста, что позволило повысить отклик детектора.
关键词
Нанопоры β-Ga₂O₃; AAO-матрицы; импульсное лазерное осаждение; широкозонные полупроводниковые материалы