Низкая эффективность извлечения света у красного Micro-LED на основе AlGaInP ограничивает интенсивность излучения устройства. В данной статье предложена технология самосборки металлической никелевой нано-маски и влажного травления для получения поверхности GaP с высокой плотностью и высокой однородностью текстуры. За счет текстурирования поверхности увеличивается критический угол и снижается эффект полного внутреннего отражения, что эффективно повышает эффективность извлечения света устройства. Использовались никелевые маски разной толщины для получения поверхностей с различной морфологией. Результаты показали, что при плотности тока 20 A/cm² световая интенсивность и внешняя квантовая эффективность Micro-LED, подвергнутого влажному травлению с использованием металлической никелевой нано-маски толщиной 1 нм, увеличились на 21,04% и 23,58% соответственно по сравнению с Micro-LED без текстурирования поверхности. Предложен метод изготовления поверхности с текстурой в виде пчелиных сот с цилиндрической структурой с использованием сухого травления ICP в сочетании с влажным травлением. После ICP-травления слоя GaP с различным временем влажного травления при плотности тока 20 A/cm² световая интенсивность и внешняя квантовая эффективность Micro-LED, обработанного ICP и влажным травлением (10 с*3 раза), увеличились на 81,61% и 48,40% соответственно по сравнению с Micro-LED без текстуры поверхности.

AlGaInP;перевернутый;эффективность извлечения света;Micro-LED;поверхностная текстура