Эпитаксиальный рост гексагонального нитрида бора и применение в устройствах

DONG Jingnan ,  

DUO Yiwei ,  

YANG Jiankun ,  

WANG Junxi ,  

WEI Tongbo ,  

摘要

Гексагональный нитрид бора (h-BN) является представительной широкозонной двумерной слоистой материалой, поверхность которой атомарно гладкая без подвешенных связей и заряженных примесей, обладает превосходной механической стабильностью, термической стабильностью и химической инертностью. Благодаря выдающимся свойствам в областях оптоэлектроники, квантовой оптики и электроники, он в настоящее время стал низкоразмерным подложечным материалом для различных приложений. В данной статье систематически представлен основной структурный состав h-BN, а также его оптоэлектронные, механические и тепловые свойства; затем описаны новейшие методы синтеза, включая механическое отшелушивание, химическое и физическое осаждение из паровой фазы, молекулярно-пучковую эпитаксию, с подробным изложением роста тонких пленок h-BN на переходных металлических и диэлектрических подложках с использованием химического осаждения из паровой фазы, а также анализируются их уникальные преимущества. Далее рассматриваются новейшие исследования по применению устройств на основе h-BN с различных аспектов, таких как переносной материал, диэлектрический слой FET, глубоко ультрафиолетовые оптоэлектронные устройства, источники одиночных фотонов и нейтронные детекторы. В заключение, на основе текущего состояния исследований и ключевых проблем, анализируются вызовы и ограничения, с которыми сталкивается h-BN, а также представлены перспективы будущего развития.

关键词

двумерные материалы; гексагональный нитрид бора; методы синтеза; оптоэлектронные применения

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website