Оксид лютеция (Lu₂O₃) считается потенциальным материалом для лазерных кристаллов из-за своей высокой теплопроводности, низкой фононной энергии и сильного кристаллического поля. Однако его высокая температура плавления до 2450 °C может привести к образованию значительного количества дефектов. Недостаточное изучение дефектов этого кристалла мешает улучшению его качества. В данном исследовании мы использовали метод химического травления, чтобы изучить эффект травления кристаллов Lu₂O₃ в различных условиях и определить оптимальные условия для изучения дефектов кристаллов Lu₂O₃ (70 вт% H₃PO₄, 160 °C, 15-18 мин). Морфологию дефектов вдавленных точек на кристаллах Lu₂O₃ с ориентациями (111) и (110) описывали с помощью оптического микроскопа, сканирующего электронного микроскопа и атомно-силового микроскопа. Эта статья заполняет пробел в понимании линейных дефектов в Lu₂O₃ и предоставляет руководство по оптимизации процесса выращивания кристалла и повышения его качества.

Lu₂O₃; коррозионные ямки; дефект; дефекты кристалла