Ионы редкоземельных элементов обладают богатой спектроскопией излучения, и при их введении в качестве центров свечения в ферроэлектрические материалы можно с помощью ферроэлектрической поляризации динамически управлять длиной волны и интенсивностью излучения ионов редкоземельных элементов, что значительно улучшит производительность полупроводниковых оптоэлектронных устройств. AlScN благодаря своей высокой остаточной поляризации, широкой запрещённой зоне и высокой совместимости с CMOS-процессами предоставляет новые возможности для создания новых многофункциональных ферроэлектрических регулируемых светящихся устройств. В данной работе исследовано влияние легирования Er³⁺ на свечение и ферроэлектрические свойства пленок AlScN: увеличение концентрации легирования увеличивает количество центров свечения; в диапазоне концентраций от 3,6% до 9,4% наблюдается усиление интенсивности пика свечения Er³⁺, но превышение 10% концентрации вызывает эффект тушения, приводящий к ослаблению свечения. Легирование Er³⁺ приводит к незначительной деградации характеристик AlScN, но при концентрации 9,4% сохраняется остаточная поляризация выше 80 μC/cm², демонстрируя совмещение свечения и сильных ферроэлектрических свойств, что закладывает основу для проектирования новых многофункциональных и высокоинтегрированных светящихся устройств на базе этого ферроэлектрического материала.

AlScN;Er³⁺;фотолюминесценция;сильная ферроэлектричность