Литография - это надежный метод изготовления пикселизированной тонкопленочной пленки цветообразования светодиодов микроразмера (Micro-LED), но существует проблема совместимости квантовых точек с фотолаком для литографии. В данной работе разработан фотолак, совместимый с квантовыми точками с помощью модификации боковых цепей N-Фенилмалемид (NPMI) акриловой смолы, промотировными на сторонние группы C-O, который способен образовывать соединительную связь с квантовыми точками, тем самым блокируя поверхностные дефекты и повышая дисперсию квантовых точек, что приводит к выходу люминесценции фотолака 76.1% (красный) и 43.4% (зеленый). При изготовлении конечной пленки цветообразования эффект блокирования все еще существует, выход люминесценции красного и зеленого составляет 66.4% и 36.4%, соответственно, а минимальный размер пикселизированной формы изображения может достигать 10 мкм * 10 мкм. Метод модификации боковых цепей смолы в данном исследовании дает указания для разработки совместимого с квантовыми точками фотолака для литографии и предлагает простое и практичное решение для коммерческого применения полноцветных Micro-LED.

фотолак для квантовых точек; цветообразование; модификация смолы; пикселизация