Последние достижения в технологии интегрированных фотонных устройств полностью удовлетворяют спрос рынка на компактные и эффективные оптоэлектронные системы, а также значительно способствуют развитию технологии оптических метаповерхностей. В частности, интеграция вертикально-камерального излучающего лазера (VCSEL) с метаповерхностями может генерировать векторные пучки с заданным фазовым фронтом, значительно расширяя функциональность и гибкость оптоэлектронных систем. В данной работе спроектирован VCSEL на длину волны 850 нм на основе метаповерхности с массивом нанантенн из Si3N4; регулировкой параметров структуры нанантенн достигнуто фазовое покрытие свыше 2π, а с использованием фазовых пластин с вихревыми фазами первого и второго порядка успешно созданы вихревые пучки различных порядков. Эти результаты открывают новые перспективы для технологий управления световым полем VCSEL на оптических метаповерхностях.

метаповерхность;вихревой пучок;вертикально-камерный излучающий лазер;интегрированные фотонные устройства