Последние достижения в технологии интегрированных фотонных устройств полностью удовлетворяют потребности рынка в компактных, эффективных оптико-электронных системах и сильно способствуют развитию технологии оптических суперповерхностей. Например, интеграция вертикального резонаторного светоизлучения (VCSEL) с суперповерхностью позволяет генерировать векторный световой пучок с определенной фазовой фронтом, что значительно увеличивает функциональность и гибкость оптико-электронной системы. В данной статье был разработан VCSEL на основе наноантенн суперповерхности на основе нитрида кремния (Si₃N₄), с помощью регулировки параметров структуры наноантенн удалось достичь фазового покрытия более 2 π, и с использованием вихревой фазовой пластины 1-го и 2-го порядка успешно были получены вихровые световые пучки разных порядков. Эти результаты представляют собой новый подход к оптополю VCSEL с контролем поля света суперповерхностей.

Оптические суперповерхности; Вихревой световой пучок; Вертикальный резонаторный светоизлучатель; Интегрированные фотонные устройства