Выпрямительная цепь является ключевым компонентом для преобразования переменного тока в постоянный и играет важную роль в микросистемах сбора энергии. Традиционные кремниевые или германиевые выпрямительные диоды из-за своей специфической технологии изготовления препятствуют интеграции системы. В отличие от них, оксидные металлы диоды благодаря простой технологии подготовки демонстрируют преимущества в интеграции системы. Дефекты кислородных вакансий в оксидных полупроводниках значительно влияют на электрические характеристики устройства, поэтому регулирование концентрации кислородных вакансий эффективно контролирует характеристики диода. Для оптимизации характеристик диода в исследовании регулировали поток кислорода в процессе напыления для эффективного контроля концентрации кислородных вакансий в пленке InGaZnO. Экспериментальные результаты показывают, что диод при напряжении 1 В имеет прямой ток плотностью 43.82 А/см² и коэффициент выпрямления 6.94×10⁴, способен эффективно выпрямлять входной синусоидальный сигнал частотой 1 кГц и напряжением 5 В, демонстрируя большой потенциал в преобразовании и управлении энергией. Управление кислородными вакансиями предоставляет идеи и методы для оптимизации характеристик выпрямительных диодов.

InGaZnO;шоттки-диод;кислородные вакансии;характеристики выпрямления