С помощью программного обеспечения COMSOL multiphysics была выполнена двумерная физическая симуляция фотоустройства на гетероструктуре на основе Ga2O3/VO2. Были проанализированы и представлены кривые легирования, энергетические уровни, распределение электрического поля и потенциала для фотоустройства на гетероструктуре с фазовым переходом VO2. Исследована возможность применения устройства в фотодетекторах; по результатам моделирования при смещении 1 В и освещении 10 μВт достигнута пиковая чувствительность 0,068 А/Вт, отношение подавления (R250 nm/R450 nm) достигло порядка 105. Данные симуляции полезны для дальнейшей оптимизации экспериментальных исследований и применения фотодиодов Ga2O3/VO2.
关键词
Гетероструктура Ga2O3/VO2;COMSOL;Фазовый переход VO2;Энергетическая структура;Симуляция