Для исследования эффективности инактивации вирусов светодиодными приборами на основе AlGaN с разными длинами волн излучения, изготовленными на шаблонах AlN с высокой температурной обработкой, в диапазоне длин волн 257–294 нм было изготовлено 7 групп глубокоуф-LED на основе AlGaN с разными длинами волн излучения, и изучена их эффективность инактивации вируса Коксаки. Результаты экспериментов показывают, что высокая температура обработки шаблонов AlN может снизить плотность дислокаций в шаблоне до 1.33×10⁷ см^-2, что создает хорошую базу для изготовления высокоэффективных LED на основе AlGaN; LED на основе AlGaN, изготовленные на шаблонах AlN с высокой температурной обработкой, при условиях инактивации на расстоянии 2 см и времени УФ облучения 30 с показывают эффективность инактивации вируса Коксаки ≥99.90% для LED с центральными длинами волн 257–278 нм, в то время как для LED с длинами волн 288 нм и 294 нм значения эффективности составляют 99.47% и 96.15% соответственно. Исходя из этих результатов, LED на основе AlGaN с длинами волн от 257 до 278 нм подходят для применения в области дезинфекции вирусов; при экспериментальных условиях данной работы LED с длиной волны более 288 нм показывают худшую эффективность инактивации вирусов.

Высокотемпературная обработка;Шаблон AlN;AlGaN;LED;Инактивация вирусов