Для исследования эффективности инактивации вирусов устройствами LED на основе AlGaN с разными длинами волн излучения, изготовленными на термически обработанном при высокой температуре шаблоне AlN, в диапазоне длин волн 257~294 нм было изготовлено 7 групп глубоко-ультрафиолетовых светодиодных устройств на основе AlGaN, и изучена их эффективность инактивации вируса Коксаки. Экспериментальные результаты показали, что высокотемпературная термообработка шаблона AlN может снизить плотность дислокаций шаблона AlN до 1,33×10⁷ см^-2, что создало хорошую основу для производства высокоэффективных светодиодных устройств на основе AlGaN; при условиях эксперимента с дистанцией инактивации 2 см и временем ультрафиолетового облучения 30 с светодиодные устройства на основе AlGaN с центральной длиной волны излучения от 257 до 278 нм достигли эффективности инактивации вируса Коксаки ≥99,90%, в то время как светодиоды с длиной волны 288 нм и 294 нм показали уровень инактивации 99,47% и 96,15% соответственно. Согласно вышеуказанным результатам, светодиодные устройства на основе AlGaN с длиной волны в диапазоне 257~278 нм подходят для применения в области дезинфекции вирусов; при экспериментальных условиях данной работы глубоко-ультрафиолетовые светодиоды на основе AlGaN с длиной волны более 288 нм имеют худшую эффективность инактивации вирусов.

Высокотемпературная термообработка;Шаблон AlN;AlGaN;LED;Инактивация вирусов