Для изучения эффективности LED-устройств на основе AlGaN с различной длиной волны свечения, приготовленных на высокотемпературно обработанных образцах AlN, в данной работе были подготовлены 7 групп LED-устройств на основе AlGaN глубокой ультрафиолетовой длины волны в диапазоне 257~294 нм и исследована их эффективность в дезактивации вируса коксаки. Результаты экспериментов показали, что высокотемпературная обработка образца AlN может снизить плотность дефектов в образце AlN до 1.33×10⁷ см^-2, что создает хорошую основу для подготовки эффективных LED-устройств на основе AlGaN; на основе высокотемпературно обработанных образцов AlN было показано, что LED-устройства на основе AlGaN с центральной длиной волны в диапазоне 257~278 нм при дезактивации вируса коксаки в условиях эксперимента, включающих расстояние дезактивации 2 см и время ультрафиолетового облучения 30 с, имеют эффективность дезактивации больше или равную 99.90%, в то время как эффективность LED-устройств с центральной длиной волны 288 нм, 294 нм при дезактивации вируса коксаки составляет всего 99.47% и 96.15%. На основании вышеуказанных исследовательских результатов, LED-устройства на основе AlGaN с длиной волны свечения в диапазоне 257~278 нм подходят для применения в медицинской области для уничтожения вирусов; в условиях данной работы LED-устройства на основе глубокой ультрафиолетовой AlGaN с длиной волны свечения больше 288 нм имеют слабую эффективность дезактивации вирусов.

высокотемпературная обработка; образец AlN; AlGaN; LED; дезактивация вируса