Выдающиеся материальные свойства алмаза обеспечивают ему большой потенциал применения в области обнаружения солнечно-слепого ультрафиолетового излучения. В данной статье с использованием установки микроволнового плазменного химического осаждения конденсирован алмазный тонкий фильм на монокристаллической кремниевой подложке с кристаллической плоскостью (111), и на основе этого тонкого слоя с помощью термического разложения фоторезиста подготовлен графитовый плоский зубчатый электрод структуры MSM для алмазного солнечно-слепого ультрафиолетового детектора, что предоставляет новый метод создания полностью углеродного алмазного детектора. Результаты показывают, что алмазный тонкий слой на кремниевой подложке представляет собой высокоориентированный поликристаллический тонкий слой, ширина полувысоты при сканировании XRD по плоскости (111) составляет 0.093°, пиковая позиция алмазного пика в рамановском спектре - 1332 см-1, ширина полувысоты - 4 см-1, что свидетельствует о высоком качестве кристаллов пленки; ток темнового состояния графитового электрода УФ-детектора при смещении 5 В равен 2.07×10-8 А, отношение фототока к темновому току — 77, характеристики переключения хорошие, а также графитовый электродный детектор обладает превосходной временной реакцией с временем нарастания 30 мс и временем спада 430 мс.

алмазная пленка;графитовый электрод;солнечно-слепой ультрафиолетовый детектор