O óxido de gálio apresenta vantagens como alta eficiência de absorção de raios X de baixa energia, alto campo elétrico de operação, baixa corrente de escurecimento e alta estabilidade físico-química, sendo um dos materiais candidatos importantes para detectores de raios X de conversão direta. Este artigo revisa detalhadamente as características de detecção de raios X do óxido de gálio e os avanços na pesquisa de seus dispositivos nos aspectos de materiais, estrutura do dispositivo, mecanismos de conversão fotoelétrica e aplicações do dispositivo. Atualmente, detectores de raios X foram fabricados a partir de filmes finos amorfos de óxido de gálio, filmes policristalinos (incluindo microcristais e nanocristais) de óxido de gálio, filmes epitaxiais monocristalinos altamente orientados de óxido de gálio, blocos monocristalinos de óxido de gálio e microfios monocristalinos, e suas propriedades de detecção foram estudadas. As estruturas dos dispositivos adotadas incluem metal-semicondutor-metal (MSM), junções Schottky, heterojunções e estruturas de vácuo, e foram propostos vários mecanismos de conversão fotoelétrica, como ganho fotocondutivo, ganho de avalanche e efeito fotocondutivo induzido por bombardeio de elétrons. Na aplicação dos dispositivos, foi demonstrado o uso dos detectores de raios X de óxido de gálio em dosímetros de raios X, imagens por raios X e sensores vestíveis de raios X. Com base nesses avanços, as futuras direções de desenvolvimento da pesquisa em detectores de raios X de óxido de gálio são apresentadas.

óxido de gálio;detector de raios X;cristalinidade;filme;mecanismo de conversão fotoelétrica