Controle Sinérgico da Emissão Luminosa e das Propriedades Ferroelétricas de Filmes de AlScN Dopados com Er3+

LI Dan ,  

LIU Mingrui ,  

WANG Shuai ,  

JIA Yuping ,  

ZANG Hang ,  

SUN Rui ,  

ZHANG Shanli ,  

SUN Xiaojuan ,  

LI Dabing ,  

摘要

Íons de terras raras possuem níveis ricos de emissão luminosa e, ao serem incorporados como centros emissores em materiais ferroelétricos, a polarização ferroelétrica pode ser utilizada para realizar o controle dinâmico do comprimento de onda e da intensidade da emissão dos íons de terras raras, o que melhorará significativamente o desempenho dos dispositivos optoeletrônicos semicondutores. O AlScN, com sua forte polarização remanescente, ampla banda proibida e alta compatibilidade com processos CMOS, oferece novas oportunidades para a construção de novos dispositivos emissores multifuncionais controlados ferroeletricamente. Este artigo investiga o efeito do dopagem com Er3+ na emissão luminosa e nas propriedades ferroelétricas dos filmes de AlScN. O aumento da concentração de dopagem aumenta o número de centros emissores; na faixa de concentração de 3,6% a 9,4%, observa-se um aumento na intensidade do pico de emissão de Er3+, mas concentrações acima de 10% causam um efeito de extinção que leva ao enfraquecimento da emissão. A dopagem com Er3+ causa uma leve degradação do desempenho do AlScN, mas em uma concentração de 9,4%, mantém uma polarização remanescente acima de 80 μC/cm2, demonstrando a coexistência de emissão luminosa e forte ferroeletricidade, estabelecendo a base para o projeto de novos dispositivos emissores multifuncionais e altamente integrados utilizando este material ferroelétrico.

关键词

AlScN;Er3+;fotoluminescência;ferroeletricidade forte

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