Os avanços recentes na tecnologia de dispositivos fotônicos integrados atendem plenamente às demandas do mercado por sistemas optoeletrônicos compactos e eficientes, além de impulsionar fortemente o desenvolvimento da tecnologia de metasuperfícies ópticas. Entre eles, a integração do laser de cavidade vertical emissor na superfície (VCSEL) com metasuperfícies pode gerar feixes vetoriais com frentes de onda específicas, aumentando significativamente a funcionalidade e flexibilidade dos sistemas optoeletrônicos. Este artigo projeta uma metasuperfície baseada em uma matriz de nanoantenas de Si₃N₄ para VCSEL de 850 nm e, através do controle dos parâmetros estruturais das nanoantenas, alcança uma cobertura de fase superior a 2<inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mi mathvariant="normal">π</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula>, utilizando placas de fase de vórtice de primeira e segunda ordem para produzir com sucesso feixes de vórtice de diferentes ordens. Este resultado oferece uma nova perspectiva para a tecnologia de controle do campo de luz VCSEL por meio de metasuperfícies ópticas.

metasuperfície;feixe vórtice;laser emissor de cavidade vertical;dispositivo fotônico integrado