Para investigar a eficiência de inativação viral de dispositivos LED baseados em AlGaN com diferentes comprimentos de onda de emissão fabricados em substratos de AlN tratados termicamente em alta temperatura, este trabalho fabricou 7 grupos de dispositivos LED UV profundos baseados em AlGaN na faixa de comprimento de onda de 257 a 294 nm e investigou sua eficiência de inativação do vírus Coxsackie. Os resultados experimentais mostram que o tratamento térmico em alta temperatura do substrato de AlN pode reduzir a densidade de discordâncias do substrato para 1,33×10⁷ cm^-2, estabelecendo uma boa base para a fabricação de dispositivos LED baseados em AlGaN de alta eficiência; os dispositivos LED baseados em AlGaN fabricados em substratos de AlN tratados termicamente em alta temperatura, sob condições experimentais com distância de inativação de 2 cm e tempo de irradiação UV de 30 s, apresentaram taxas de inativação do vírus Coxsackie ≥99,90% para dispositivos com comprimento de onda central entre 257 e 278 nm, enquanto os LEDs com comprimento de onda central de 288 nm e 294 nm apresentaram taxas de inativação do vírus de apenas 99,47% e 96,15%, respectivamente. De acordo com esses resultados, os dispositivos LED baseados em AlGaN com comprimentos de onda entre 257 e 278 nm são adequados para aplicação na área de desinfecção viral; nas condições experimentais deste trabalho, dispositivos LED UV profundos baseados em AlGaN com comprimento de onda superior a 288 nm apresentaram desempenho inferior na inativação viral.

Tratamento térmico em alta temperatura;Substrato AlN;AlGaN;LED;Inativação viral