As excelentes propriedades materiais do diamante conferem-lhe grande potencial de aplicação na área de detecção ultravioleta cega ao sol. Este artigo utiliza um equipamento de deposição química de vapor plasmático por micro-ondas para depositar filme fino de diamante numa substrato de silício monocristalino com plano cristalino (111) e, com base neste filme, fabrica um detector ultravioleta cego ao sol de diamante com estrutura MSM de eletrodos de grafite interdigitais planos por pirólise de fotorresiste, fornecendo um novo método para a realização de detectores de diamante totalmente de carbono. Os resultados mostram que o filme de diamante sobre o substrato de silício é um filme policristalino altamente orientado, com largura de pico de meia-altura no escaneamento XRD da face (111) de 0,093°, pico característico do diamante no espectro Raman em 1332 cm-1 e largura de pico de meia-altura de 4 cm-1, indicando alta qualidade cristalina do filme; a corrente escura do detector UV com eletrodo de grafite sob tensão de polarização de 5 V é 2,07×10-8 A, a relação corrente luz/escuro é 77, as características de comutação são boas e o detector com eletrodos de grafite apresenta excelente resposta temporal, com tempo de subida de 30 ms e tempo de descida de 430 ms.

filme de diamante;eletrodo de grafite;detector ultravioleta cego ao sol