초발광 다이오드 제조 기술 및 연구 진전

ZHAO Xin ,  

WANG Yangdi ,  

ZHAO Xiaozhuang ,  

WU Dan ,  

LI Bo ,  

JIA Huimin ,  

TANG Jilong ,  

WEI Zhipeng ,  

摘要

초발광 다이오드(Superluminescent diode, SLD)는 단방향 자발 방사 증폭 현상을 기반으로 하며, 높은 출력 전력, 넓은 발광 스펙트럼, 약한 일관성 등의 특징을 가지고 있습니다. 생의학 영상, 정밀 기기, 광섬유 통신 등 분야에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있으며, 3세대 반도체 광전자 소자의 연구 핵심 분야입니다. 본 논문은 능동 재료 설계, 도파관 구조 조절, 광학 단면 최적화 세 가지 관점에서 SLD 소자의 핵심 제조 기술 및 연구 현황을 상세히 고찰합니다. 다양한 기술 수단의 융합을 통해 SLD 소자는 성능, 안정성 및 집적도에서 지속적인 돌파구를 이루고 있습니다. 이를 바탕으로 광학 코히어런스 단층 촬영, 간섭식 광섬유 자이로스코프 및 광섬유 센서 시스템 분야에서의 응용 진전을 정리하여 SLD 소자의 독특한 장점을 보여줍니다. 마지막으로 SLD 소자 연구에서 직면한 주요 문제를 간략히 분석하고 향후 발전 방향을 전망합니다.

关键词

초발광 다이오드; 양자 우물; 도파관 구조; 광학 코히어런스 단층 촬영

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