주파수 변조 연속파 광학 위상 배열 라이다의 넓은 조정 범위와 좁은 선폭 광원 요구를 위해 S 대역을 커버하는 실리콘 질화물 삼중 마이크로링 외부 공진기 조정 가능한 좁은 선폭 레이저가 제안되었다. 해당 설계는 저손실 Si₃N₄ 도파로와 InP 기반 반사형 반도체 광 증폭기의 혼합 집적을 채택하여, 삼중 마이크로링 스캐닝 필터 메커니즘을 통해 88 nm(1,450~1,538 nm)의 넓은 조정 범위를 구현하였으며, 긴 외부 공진기 구조와 고Q값 마이크로링을 이용해 선폭을 약 0.89 kHz로 압축하였다. 또한 조절 가능한 사그낙 링 반사경과 결합하여 피드백 안정성을 최적화하였다. 시뮬레이션 결과, 해당 레이저는 조정 범위, 선폭 및 횡모드 억제비 등에서 주파수 변조 연속파 광학 위상 배열 라이다 시스템의 S 대역 광원 요구를 모두 충족하며, S 대역 출력은 Ge/Si 검출기의 높은 응답 특성에 적합할 뿐만 아니라 기존 C+L 대역 광원의 스펙트럼 보완 역할도 가능하다. 향후 칩 온 통합을 통해 S+C+L 전 대역 커버가 가능해져, 대각도 스캔을 지원하는 전고형 레이저 라이다에 고성능, 확장 가능한 광원 솔루션을 제공할 수 있다.

집적 외부 공진기 레이저;조정 가능한 레이저;좁은 선폭;마이크로링