摘要
단사정 결정상의 이산화몰리브덴 이차원 박막은 귀금속과 비교할 만한 우수한 성능을 지니며, 박막 두께를 통해 조절할 수 있어 환경 및 오수 감지기, 센서 등 분야에서 큰 응용 잠재력을 보여준다. 고성능 이산화몰리브덴 이차원 박막 소자를 얻기 위한 전제 조건 중 하나는 박막 두께를 현장에서 빠르고 비파괴적으로 측정할 수 있는 능력이다. 본 논문에서는 이산화몰리브덴 이차원 박막의 라만 분광이 박막 두께에 미치는 의존성을 연구하여, 이산화몰리브덴 이차원 박막 두께의 현장 비파괴 측정 방법을 제시한다. 532 nm의 여기광을 사용하여, 이산화몰리브덴 이차원 박막의 127 cm-1 라만 특징 피크 위치 변화는 재료 두께 변화를 효과적으로 반영할 수 있다. 여기광 편광을 변경하여 이산화몰리브덴 이차원 박막의 결정축 방향도 보정할 수 있다. 이러한 라만 분광 특성 결과는 이산화몰리브덴 이차원 박막 소자의 박막 두께 모니터링에 효과적이고 편리한 수단을 제공한다.
关键词
이산화몰리브덴 박막;라만 분광;현장 비파괴 측정
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