페롭스카이트 발광 다이오드(PeLED)는 스펙트럼 조절 가능성과 용액 가공에 따른 잠재적인 저비용 장점으로 인해 차세대 고화질 디스플레이 기술에서 매우 유망한 후보로 간주되며 학계와 산업계 모두에서 큰 관심을 받고 있다. 현재 용액 스핀 코팅법은 실험실에서 페롭스카이트를 제조하는 일반적인 방법 중 하나이지만, 고끓는점 독성 용매 사용, 불균일한 결정화, 대면적 박막 형성의 어려움 등의 문제점이 있다. 이에 비해 진공 열 증착법은 이러한 문제를 효과적으로 극복한다: 용매를 사용하지 않아 환경 친화적이며, 증착 두께 및 속도 조절 정밀도가 높고, 유기 발광 다이오드(OLED) 생산 라인과 호환되어 PeLED의 대형 디스플레이 산업화가 기대된다. 본 논문은 먼저 세 가지 일반적인 진공 열 증착 공정을 정리하고, 최근 고효율의 적녹청 PeLED의 재료 전략, 계면 최적화, 성능 향상 연구 동향을 소개하며, 마지막으로 진공 열 증착법의 상업화 과정에서 직면한 과제와 향후 발전 방향을 전망한다.

페롭스카이트 발광 다이오드;진공 열 증착;제조 공정;재료 전략;계면 공정