AlGaInP 기반 빨간색 Micro-LED의 낮은 광 추출 효율은 장치의 발광 강도를 제한한다. 본 연구에서는 자기 조립 Ni 금속 나노 마스크 및 습식 새김 기술을 제안하여 고밀도이고 균일 한 GaP 표면 질감을 얻고 표면 질감을 통해 임계 각을 증가시켜 전반사 효과를 줄여 장치의 광 추출 효율을 효과적으로 높였다. 다양한 두께의 니켈 마스크로 다양한 형태의 표면 질감을 얻었다. 결과적으로, 20 A / cm² 전류 밀도에서 1 nm 두께의 니켈 금속 나노 마스크를 사용하여 습식 새김된 Micro-LED의 발광 강도와 외 양자 효율은 표면 질감이없는 Micro-LED보다 각각 21.04 % 와 23.58 % 향상되었다. 빔홀 구조의 원기둥형 표면 질감을 만들기 위해 ICP 건식 새김과 습식 새김을 결합하여 제조 방법을 제안했다. 동일한 공정 후, GaP 층에 대한 ICP 새김 후 다양한 시간동안 습식 부식을 수행하고 20 A / cm² 전류 밀도에서 ICP 새김 및 습식 새김 10 초 * 3 회 사용한 Micro-LED의 발광 강도와 외 양자 효율은 표면 질감이 없는 Micro-LED보다 각각 81.61 % 와 48.40 % 향상되었다.

AlGaInP; 역반전; 광 추출 효율; Micro-LED; 표면 질감