摘要
AlGaInP 기반 적색 Micro-LED의 낮은 광 추출 효율은 소자의 발광 강도를 제한합니다. 본 논문에서는 자체 조립된 Ni 금속 나노 마스크 및 습식 식각 기술을 제안하여 고밀도 및 고균일성의 GaP 표면 텍스처를 얻었으며, 표면 텍스처를 통해 임계 각을 증가시키고 전반사 효과를 감소시켜 소자의 광 추출 효율을 효과적으로 향상시켰습니다. 서로 다른 두께의 니켈 마스크를 사용하여 다양한 형태의 표면 텍스처를 얻었습니다. 결과에 따르면, 20 A/cm2 전류 밀도에서 1nm 두께의 니켈 금속 나노 마스크를 사용한 습식 식각 Micro-LED의 발광 강도 및 외부 양자 효율은 표면 텍스처가 없는 Micro-LED에 비해 각각 21.04% 및 23.58% 향상되었습니다. ICP 건식 식각과 습식 식각을 결합하여 벌집 형태의 원통형 표면 텍스처를 제조하는 방법을 제안하였습니다. 동일 공정의 ICP 식각 후 GaP 층을 다양한 시간 동안 습식 부식하였으며, 20 A/cm2 전류 밀도에서 ICP 식각 및 습식 식각 10초 * 3회 처리된 Micro-LED의 발광 강도 및 외부 양자 효율은 표면 텍스처가 없는 Micro-LED에 비해 각각 81.61% 및 48.40% 향상되었습니다.
关键词
AlGaInP;플립 칩;광 추출 효율;Micro-LED;표면 텍스처
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