산화 갈륨은 저에너지 X선 흡수 효율이 높고, 높은 동작 전기장, 낮은 암전류 및 높은 물리화학적 안정성과 같은 장점을 가지고 있어 직접 변환 X선 검출기의 중요한 후보 재료 중 하나입니다. 본 논문에서는 재료, 소자 구조, 광전 변환 메커니즘 및 소자 응용 등 여러 측면에서 산화 갈륨 X선 검출 특성과 소자 연구 동향을 상세히 검토하였습니다. 현재까지 비정질 산화 갈륨 박막, 다결정(마이크로결정 및 나노결정 포함) 산화 갈륨 박막, 고배향 에피택시 단결정 산화 갈륨 박막, 단결정 산화 갈륨 벌크 및 단결정 산화 갈륨 마이크로와이어의 X선 검출기가 제작되어 검출 성능이 연구되었습니다. 사용된 소자 구조에는 금속-반도체-금속(MSM), 쇼트키 접합, 이종 접합 및 진공 구조 등이 포함되며, 광전도 이득, 눈사태 이득 및 전자 폭격 유도 광전도 효과 등의 다양한 광전 변환 메커니즘이 제안되었습니다. 소자 응용 측면에서는 산화 갈륨 X선 검출기가 X선 선량계, X선 영상 및 웨어러블 X선 센서에서의 응용이 소개되었습니다. 이러한 연구 진전을 바탕으로 산화 갈륨 X선 검출기 연구의 미래 발전 방향도 전망하였습니다.

산화 갈륨;X선 검출기;결정성;박막;광전 변환 메커니즘