摘要
루테튬 산화물(Lu2O3)은 높은 열전도율, 낮은 포논 에너지 및 강한 결정장으로 인해 잠재력이 있는 레이저 결정 재료로 간주됩니다. 그러나 2450 ℃에 달하는 높은 융점은 상당한 온도 구배를 발생시켜 다수의 결함을 유도합니다. 이 결정의 결함에 대한 연구는 아직 충분하지 않아 결정 품질 향상을 저해하고 있습니다. 본 연구에서는 화학적 식각 방법을 사용하여 다양한 조건에서 Lu2O3 결정의 식각 효과를 조사하였으며, Lu2O3 결정의 전위 결함 연구를 위한 최적 조건(질량 분율 70% H3PO4, 160 ℃, 15~18분)을 확정하였습니다. 광학 현미경, 주사 전자 현미경 및 원자력 현미경을 이용하여 (111) 및 (110) 방향의 Lu₂O₃ 웨이퍼 위 전위 식각 구덩이 형상을 특성화하였습니다. 본 연구는 Lu2O3 선 결함에 대한 인식 공백을 메우고 결정 성장 과정 최적화 및 결정 품질 향상을 위한 지침을 제공합니다.
关键词
Lu2O3;부식 구덩이;전위;결정 결함
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