摘要
루테튬 산화물(Lu2O3)은 높은 열전도도, 낮은 포논 에너지, 강한 결정장으로 인해 유망한 레이저 결정 재료로 간주됩니다. 그러나 2,450 ℃에 달하는 높은 융점은 큰 온도 구배를 발생시켜 많은 결함을 유도합니다. 이 결정의 결함 연구는 아직 미흡하여 결정 품질 향상을 저해하고 있습니다. 본 연구에서는 화학 에칭 방법을 사용하여 다양한 조건에서 Lu2O3 결정의 에칭 효과를 조사하였으며, Lu2O3 결정의 전위 결함 연구를 위한 최적 조건(질량 분율 70% H3PO4, 160 ℃, 15~18분)을 확립하였습니다. 광학현미경, 주사전자현미경 및 원자력현미경을 이용해 (111) 및 (110) 방향의 Lu₂O₃ 웨이퍼 전위 에칭 구멍 형태를 특성화하였습니다. 본 연구는 Lu2O3 선형 결함 인식의 공백을 메우고, 결정 성장 공정 최적화 및 결정 품질 향상을 위한 지침을 제공합니다.
关键词
Lu2O3;부식 구멍;전위;결정 결함