摘要
고성능 반도체 X선 검출기는 낮은 검출 한계, 낮은 암전류, 높은 감도, 빠른 응답, 강한 방사선 저항성 등의 특성을 갖추어야 한다. 탄화규소, 갈륨 나이트라이드, 다이아몬드, 산화 갈륨 및 산화 아연과 같은 광대역 반도체는 넓은 밴드갭 폭, 높은 전자 이동도, 높은 항복 전계, 높은 포화 운반자 드리프트 속도, 높은 이위 에너지 등의 특성으로 X선 검출에서 우수한 성능을 보이며, 고성능 반도체 X선 검출기의 요구 특성을 충족시켜 유망한 X선 검출기가 되고 있다. 본 논문에서는 탄화규소, 갈륨 나이트라이드, 다이아몬드, 산화 갈륨 및 산화 아연과 같은 광대역 반도체 재료 특성, 제작 기술 및 X선 검출기 연구의 최신 동향을 소개하여 의학 영상, 산업 검사 및 우주 탐사 등의 향후 연구 방향과 잠재적 응용에 참고가 되고자 한다.
关键词
광대역;반도체;X선 검출기;탄화규소;갈륨 나이트라이드;다이아몬드
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