摘要
집적 광자 장치 기술의 최신 발전은 콤팩트하고 효율적인 광전 시스템에 대한 시장의 요구를 충분히 충족시키는 동시에 광학 초표면 기술의 발전을 강력히 촉진했습니다. 그중 수직공진면방출레이저(VCSEL)와 초표면의 통합은 특정 파면을 가진 벡터 빔을 생성하여 광전 시스템의 기능성과 유연성을 크게 향상시켰습니다. 본 논문에서는 Si3N4 나노안테나 배열 초표면 기반의 850 nm VCSEL을 설계하였으며, 나노안테나 구조 매개변수 조절을 통해 2π 이상의 위상 커버리지를 실현하였고, 1차 및 2차 와상 위상판을 사용하여 다양한 차수의 와상 빔을 성공적으로 생성하였습니다. 이 성과는 광학 초표면을 통한 VCSEL 광장 제어 기술에 새로운 아이디어를 제공합니다.
关键词
초표면;와상 빔;수직공진면방출레이저;집적 광자 장치