산화 아연 마이크로/나노 구조 자외선 발광 및 레이저 소자 연구 진전

LIU Maosheng ,  

WANG Jinhui ,  

KAN Caixia ,  

SHI Daning ,  

JIANG Mingming ,  

摘要

산화 아연(ZnO)은 비교적 넓은 직접 밴드갭(3.37 eV), 상당한 엑시톤 결합 에너지(60 meV), 우수한 증폭 특성을 가지고 있어 저차원 고효율 순수 자외선 발광 및 레이저 소자의 이상적인 재료입니다. 현재 다양한 형태의 ZnO 마이크로 공동을 기반으로 광펌핑 레이저가 실현되었으나, 전기 구동 소자의 개발이 실제 적용으로의 핵심입니다. 본 논문에서는 ZnO의 기본 특성과 마이크로/나노 구조의 일반적인 제조 방법을 간략히 검토하고, 다양한 소자 구조별로 ZnO 마이크로/나노 구조 기반 발광 및 레이저 소자의 주요 연구 진전을 정리하였습니다. 우선, 저차원 ZnO 이종 구조 및 쇼트키 구조 기반 발광 및 레이저 소자와 해당 성능 최적화 수단의 연구 진전을 설명하였으며, 이어서 p형 ZnO 소재 및 해당하는 동질 구조 발광 및 레이저 소자의 연구 현황을 논의하였고, 마지막으로 ZnO 기반 소자의 여전히 존재하는 문제점과 향후 발전 방향에 대해 요약 및 전망하였습니다.

关键词

산화 아연;발광 소자;레이저 소자;이종 접합;동질 접합

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