摘要
ZnO 레이저는 이득 특성면에서 뛰어난 장점을 가지고 있지만, ZnO 재료의 식각 공정은 임의 크기의 마이크로공진기 제작을 제한하여 온칩 응용을 방해합니다. 본 논문에서는 절연 실리콘(SOI) 기판에서 패터닝된 ZnO 성장으로 떠 있는 ZnO 마이크로디스크 배열을 제작하고 마이크로공진기의 구조, 형태 및 광발광(PL) 특성을 체계적으로 연구했습니다. 마이크로공진기는 원형 구조를 가지며, 표면 장력과 응력의 협력 작용 하에 ZnO 마이크로디스크는 독특한 링 구조를 나타내며 측벽 표면이 매끄럽습니다. ZnO 마이크로디스크(직경 8 μm)는 광펌핑된 음향벽 모드(WGMs) 자외선 레이저를 얻었으며, Q 인자가 1300을 초과합니다. 더 흥미로운 점은 광과 물질 상호작용의 증강으로 인해 ZnO 마이크로디스크 공진기의 광학적 품질이 우수하여 고여기 상태에서 ZnO 재료의 밴드갭 재구성(BGR) 현상을 지원하며, 레이저 모드도 함께 조절되었습니다. 실험 결과, 펌프 전력이 증가함에 따라 레이저 스펙트럼은 Burstein-Moss(BM) 효과에 의한 청색 이동과 전자-정공 플라즈마(EHP) 효과에 의한 적색 이동을 겪었습니다.
关键词
산화아연; 마이크로디스크; 가변 레이저; 분자빔 에피택시
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