VO2 상전이 제어 기반 Ga2O3/VO2 이종접합 소자 모델링 및 시뮬레이션

FENG Yunsong ,  

ZHOU Changqi ,  

WANG Siyu ,  

LU Yuan ,  

JIN Wei ,  

SHANG Yuanxin ,  

LI Yafan ,  

CHEN Youcai ,  

摘要

COMSOL multiphysics 소프트웨어를 사용하여 Ga2O3/VO2 기반의 이종접합 광전 소자의 2차원 물리 시뮬레이션을 수행하였다. VO2 상전이 제어 기반 Ga2O3/VO2 이종접합 광전 소자의 도핑 곡선, 에너지 준위도, 전기장 분포 및 전위 분포 등을 분석하고 보고하였다. 광전 탐지기로서의 소자 적용 가능성을 탐구하였으며, 1 V 바이어스와 10 μW 조사 조건에서 시뮬레이션된 소자의 피크 응답률은 0.068 A/W이고, 억제 비(R250 nm/R450 nm)는 105 수준에 도달하였다. 이 시뮬레이션 데이터는 Ga2O3/VO2 광전 다이오드의 실험 연구 및 응용 최적화에 유용하다.

关键词

Ga2O3/VO2 이종접합;COMSOL;VO2 상전이;에너지 준위 구조;시뮬레이션

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