고출력 1150 nm 수직 외부 공동 반도체 레이저

ZHANG Zhijun ,  

CHEN He ,  

ZHANG Zhuo ,  

LIU Zhijun ,  

ZHANG Jianwei ,  

DU Ziye ,  

ZHOU Yinli ,  

ZHANG Xing ,  

CHEN Chao ,  

NING Yongqiang ,  

WANG Lijun ,  

摘要

현재 레이저 의료, 식품 및 의약품 검사 분야에서 주황색-노란색 레이저 응용 수요에 대응하여 고출력 기본 주파수 1150 nm 수직 외부 공동 반도체 레이저(VECSEL) 연구를 수행하였다. 레이저 공진기 내 대형 기본 모드 광점 외부 공동 구조를 제안하여 VECSEL 공진기 내 모드가 대형 펌프 광점 크기와 일치하도록 하여 고출력 레이저 출력을 실현하였으며; 이득 피크-공동 모드 불일치 구조를 제안하여 이득 피크와 공동 모드의 온도 드리프트 계수가 다르며 고펌프 전력에서 이득 피크-공동 모드 매칭이 우수하여 고펌프 전력 작업 하에서 레이저 파장 안정 제어를 실현하였다. 제작된 VECSEL 소자는 1150 nm 레이저 파장에서 출력 전력이 9.38 W에 도달했으며, 좋은 원형 대칭 출력 광점 형태를 얻었고, 직교 방향에서 발산각은 각각 7.3°와 7.5°이었다.

关键词

반도체 레이저; 수직 외부 공동 반도체 레이저; 이득 칩; 변형 양자 우물

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