고출력 수직 공동면 발광 레이저 배열의 열 최적화

XIA Yuqi ,  

MU Jingfei ,  

ZHOU Yinli ,  

ZHANG Xing ,  

ZHANG Jianwei ,  

CHEN Chao ,  

YUAN Gaohui ,  

ZHANG Zhuo ,  

LIU Tianjiao ,  

BAI Haopeng ,  

XU Yuehui ,  

SUN Jingjing ,  

NING Yongqiang ,  

WANG Lijun ,  

摘要

새로운 매개변수인 온도 영향 계수가 제안되었으며, 이는 수직 공동면 발광 레이저(VCSEL) 배열 단위 간 거리, 산화 개구 크기, 단위 수 및 입력 전류를 종합적으로 고려하고 배열의 열 간섭 영향을 특성화하는 데 사용될 수 있다. 이를 바탕으로 Python을 기반으로 VCSEL 배열의 최적 배치 알고리즘이 설계되었으며, 열전 결합 모델이 구축되어 최적 배치가 온도 특성에 미치는 최적화 효과가 검증되었다. 기존 배치와 비교할 때 최적화된 배열 내부의 온도 상승이 크게 감소하였다. 또한, 고정된 전류 밀도와 발광 면적 조건 하에서 산화 개구 크기를 줄이고 단위 수를 늘리는 것이 VCSEL 배열의 온도 특성을 효과적으로 개선할 수 있다. 10 μm 산화 개구의 평균 온도는 30 μm 산화 개구보다 28 K 낮다. 연구 결과는 본 논문에서 제안한 VCSEL 배열 최적화 방안이 열 간섭 영향을 효과적으로 줄였으며, 온도 영향 계수 내 각 변수의 분석을 통해 VCSEL 배열 설계에 지침을 제공할 수 있음을 보여준다.

关键词

수직 공동면 발광 레이저;열 간섭;배열 설계;COMSOL 열전 시뮬레이션

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