대역폭 30 GHz 이상 850 nm 정사각형 횡방향 결합 공동 VCSEL

TONG Haixia ,  

WANG Yanjing ,  

TIAN Sicong ,  

JIANG Ning ,  

LI Hao ,  

TONG Cunzhu ,  

WEI Zhipeng ,  

摘要

현재, 사람들은 결합 공동 표면 발광 레이저 구조에 대한 연구에 점점 더 관심을 가지고 있습니다. 이 구조는 주 공동에 변조 전류를 가하면서 각 피드백 공동에는 직류 전류를 가하여 대역폭을 향상시킵니다. 그러나 주 공동만 단독으로 구동할 때 장치 성능에 미치는 영향은 깊이 연구되지 않았습니다. 결합 공동 레이저를 보다 포괄적으로 이해하기 위해, 우리는 한 변의 길이가 30 μm×30 μm인 정사각형 횡방향 결합 공동 VCSEL을 설계하고 제작하였으며, 정사각형 횡방향 결합 공동에서 주 공동만 단독으로 구동할 때 장치 성능의 변화를 연구하였습니다. 상온에서 -3 dB 대역폭은 30.1 GHz에 달하며, 비귀환 변조 하에서, 백투백 전송 속도 40 Gbit/s에서 깨끗한 아이 다이어그램을 얻었고, 상대 강도 잡음 값은 -160 dB/Hz였습니다. 피드백 공동은 구동하지 않아도 주 공동의 성능에 긍정적인 영향을 미친다는 것이 입증되었습니다. 설계된 TCC-VCSEL 장치는 하나의 전원만 필요로 하여 고밀도 집적에 적합하며, 패키지 통합 응용에 새로운 아이디어를 제공합니다.

关键词

수직 공동 표면 발광 레이저;횡방향 결합 공동;고속

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