다이아몬드의 우수한 재료 특성은 태양 눈맹 자외선 탐지 분야에서 큰 응용 가능성을 가지고 있습니다. 본 논문에서는 마이크로파 플라즈마 화학 기상증착 장비를 사용하여 (111) 결정면 단결정 실리콘 기판 위에 다이아몬드 박막을 증착하였으며, 해당 박막을 기반으로 광식각재 열분해법을 통해 흑연 재료 평면 인터디지털 전극 MSM 구조의 다이아몬드 태양 눈맹 자외선 검출기를 제작하여 전 탄소 다이아몬드 검출기 실현을 위한 새로운 방법을 제시하였습니다. 결과는 해당 실리콘 기판 위 다이아몬드 박막이 고배향성 다결정 박막이며, (111) 결정면의 XRD 2θ 스캔 반치폭이 0.093°, 라만 스펙트럼 다이아몬드 특징 피크 위치가 1332 cm^-1, 반치폭은 4 cm^-1로 박막 결정질이 우수함을 나타내었습니다; 흑연 전극 자외선 검출기는 5 V 바이어스 전압에서 암전류가 2.07×10^-8 A이고, 광-암전류 비가 77이며, 스위칭 특성이 우수하고 흑연 전극 검출기는 우수한 시간 응답성을 나타내며, 상승 시간은 30 ms, 하강 시간은 430 ms였습니다.

다이아몬드 박막;흑연 전극;태양 눈맹 자외선 검출기