백색 LED용 K₂SiF₆∶Mn⁴⁺(KSFM) 적광체 분말의 코팅 및 표면 개질에 분말 원자층 증착 기술(ALD)을 적용한 연구로, 구조적 특성, 발광 성능 및 습열 환경에서의 안정성에 미치는 영향을 분석하였다. 결과에 따르면, ALD 기술에서 전구체로 트리메틸알루미늄을, 산화제로 오존을 사용하면 KSFM 표면에 알루미나 코팅층이 형성될 수 있다. X선 회절 및 표면 형태 분석 결과 ALD 처리가 KSFM 형광체의 결정상과 형태 특성에 영향을 미치지 않는 것으로 나타났다. 발광 스펙트럼 분석에서 알루미나의 패시베이션 특성이 KSFM 형광체의 발광 강도를 향상시키면서 발광 파장은 변화시키지 않는 것으로 확인되었다. 코팅하지 않은 KSFM과 비교할 때, 코팅층은 KSFM 분말의 습열 안정성을 크게 향상시켰으며, ALD 코팅 후 시료의 상대 발광 강도는 85% 습도/85 ℃ 환경에서 24시간 노화 처리 후에도 초기 값의 84%를 유지하였다.

K₂SiF₆∶Mn⁴⁺; 적색 형광체; 표면 개질; 원자층 증착; 습열 안정성