은 도핑 황계 유리 광전 탐지기의 응답 파장 특성 연구

LYU Songzhu ,  

ZHAO Jianxing ,  

ZHOU Yao ,  

CAO Yinghao ,  

SONG Yinglin ,  

ZHOU Jianhong ,  

摘要

황계 유리가 우수한 광학적 특성을 가지기 때문에 비선형 광학 등 분야에서 광범위하게 연구되고 있지만, 황계 유리 기반 광전 탐지기에 관한 연구는 매우 적다. 본 논문에서는 진공 공동 증발 기술을 이용하여 다양한 은 도핑 비율의 황계 유리 박막을 반도체 막층 구조로 제작하였으며, 금속-절연체-반도체 구조의 자체 전원 광전 탐지기를 설계 및 제작하여 해당 광전 탐지기의 응답 스펙트럼 범위를 연구하였다. 실험 결과, 해당 탐지기는 가시광선부터 근적외선 영역까지의 빛에 모두 반응함을 확인하였다. 635 nm 파장 레이저 하에서 은 도핑 황계 유리 광전 탐지기의 탐지기 응답 전압과 여기 전력 간의 관계를 연구하였다. 레이저 출력이 10 mW 미만일 때 탐지기 응답 전압은 여기 전력과 선형적인 상관관계를 보였으며, 10 mW 초과 시 탐지기 응답 전압은 점차 포화되었다. 탐지기의 상승 및 감쇠 시간은 각각 3.932초와 1.522초였다. 본 연구는 자체 전원 광전 탐지기 분야에서 황계 유리 재료의 적용 가능성을 증명하였다.

关键词

황계 유리; 광전 탐지기; 금속-절연체-반도체

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