심자외선 AlGaN 기반 다중양자우물 구조에서 캐리어 방사 재결합의 국소 특성

DENG Jianyang ,  

HE Longfei ,  

WU Zhibo ,  

LI Rui ,  

XU Mingsheng ,  

WANG Chengxin ,  

XU Xiangang ,  

JI Ziwu ,  

摘要

자기적 스퍼터링 및 금속유기화학기상증착법을 이용하여 c면 사파이어 기판 위에 심자외선 Al0.38Ga0.62N/Al0.55Ga0.45N 다중양자우물 구조를 성장시키고, 그 광발광(PL) 스펙트럼을 측정하였다. PL 스펙트럼의 여기 밀도 의존도 측정 결과는 이 양자우물의 방사 과정이 국소화된 캐리어의 산란, 분극장의 차폐 및 국소 상태의 채움 효과를 포함함을 나타내며; PL 스펙트럼의 온도 의존도 측정 결과는 해당 양자우물의 방사 과정이 국소화된 캐리어의 릴랙세이션, 국소화된 캐리어의 열적 여기 및 자유 캐리어의 일반적인 열화 효과를 포함함을 나타낸다. 이 현상(즉, 여러 방사 재결합 과정의 존재)은 낮은 온도와 약한 여기 조건에서 특히 두드러지며, 이 양자우물 구조가 뚜렷한 국소 깊이 불균일성과 캐리어 국소화 효과를 가지고 있음을 보여준다. 낮은 온도 범위에서 온도가 상승함에 따라, 이 양자우물의 방사 과정은 얕은 국소화 캐리어의 릴랙세이션 효과와 깊은 국소화 캐리어의 열적 여기 효과가 함께 작용한 결과이다. 이러한 거동은 우물 폭 변동에 의해 유도된 국소 깊이 불균일성과 캐리어 국소화 효과에 기인한다.

关键词

심자외선 LED; AlGaN 다중양자우물; 광발광; 캐리어 국소화 효과

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