심자외선 LED는 물리적인 방식으로 바이러스와 박테리아의 구조를 파괴하여 고효율 소독 효과를 얻을 수 있습니다. 성숙한 공정을 가진 청색 LED와 비교할 때, 심자외선 LED의 패키징 신뢰성과 광출력 향상 방법은 여전히 주요 문제입니다. 본 논문에서는 기판 예열 방식을 이용한 미경화 패키징 접착제를 사용하고, 배열 도포 방식을 통해 석영유리를 도금된 구리 방벽에 고정하여 반무기질 패키징 심자외선 LED를 제작하였습니다. 해당 소자의 출력 파장은 275nm이며, 반치폭은 약 11nm입니다. 전통적인 반투명 재료 패키징 소자와 비교하여 퀴츠 패키징 심자외선 LED는 더 높은 광출력을 가집니다. 진공 적색 잉크 및 헬륨 누출 실험에서 본 논문에서 제안한 반무기질 패키징 기술을 적용한 심자외선 LED 소자는 높은 밀봉성을 나타냈습니다. 또한 가속 노화 테스트에서 해당 패키징 소자의 광감쇠 속도는 20% 이내였습니다. 실험 결과는 유기 패키징 심자외선 LED 소자와 비교할 때, 기판 예열 조건에서 배열 도포 방식으로 석영유리를 고정하는 것이 현재 심자외선 LED 신뢰성 향상을 위한 패키징 방법임을 보여줍니다.

심자외선 LED; 신뢰성; 광출력; 기판 예열; 배열 도포