摘要
태양 맹(일맹) 자외선 검출기는 국방 및 민수 분야 모두에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있다. 넓은 밴드갭 반도체 소재를 기반으로 한 태양 맹 자외선 검출기는 고가의 필터가 필요 없고, 작동 전압이 낮으며, 완전 고체 상태이고, 크기가 작고, 무게가 가벼우며, 간섭 저항이 강하고, 넓은 작동 온도 범위를 갖는 특징이 있으며, 새로운 세대의 자외선 검출기로 인정받고 있다. 수많은 넓은 밴드갭 반도체 소재 중 Ga2O3를 대표로 하는 갈륨 기반 산화물 소재는 우수한 전기적 및 광전 특성으로 인해 최근 마이크로일렉트로닉스 및 광전자공학 분야의 연구 중심이 되었으며, 특히 고유한 태양 맹, 고온 내성, 고압 내성, 우수한 화학적 안정성과 같은 우수한 특성으로 인해 이들 소재는 태양 맹 자외선 광전 검출 분야에서 큰 발전 잠재력을 보여주고 있다. 이에 본 논문에서는 다양한 결정 구조의 Ga2O3, 갈륨산염 산화물, 갈륨-주석 산화물, 갈륨-알루미늄 산화물 등의 갈륨 기반 산화물 박막 및 태양 맹 자외선 검출기 연구 동향을 정리하였다.
关键词
태양 맹; 자외선 검출기; Ga2O3; 갈륨 기반 산화물; 갈륨산염 산화물; 갈륨 삼원 합금 산화물
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