摘要
유리 기판 표면에 산화은 종자층을 도입하는 방법을 제안하여 우수한 표면, 광학 및 전기적 특성을 가진 초박형 투명 전도성 은 박막을 성공적으로 제조하였다. 먼저, 열증착 방법으로 유리 기판 위에 1nm 두께의 은 박막을 성장시키고, 이후 해당 박막을 공기 플라즈마 처리하여 산화은 종자층을 형성하였다. 이 종자층은 은 원자의 무작위 이동을 억제하여 이후에 증착되는 은 원자의 핵생성 밀도를 증가시켜 은 원자의 빠른 박막 형성을 촉진한다. 본 초박형 투명 산화은/은 박막을 양극으로 사용하여 고효율 인광 유기 전기발광 소자를 구현하였으며, 장치의 최대 전류 효율과 광출력 효율은 각각 60.4 cd·A-1, 63.2 lm·W-1로 기존 ITO 장치 대비 1.45배 및 1.60배 우수하다. 본 연구 결과는 산화은 종자층을 가진 초박형 투명 은 박막이 투명 전도성 전극으로서 큰 잠재력을 지님을 보여준다.
关键词
산화은; 공기 플라즈마; 투명 양극; 유기 전기발광 소자
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