원자층 증착 기반 양자점 색상 변환막 봉지

YAN Yinguo ,  

CAI Junhu ,  

ZHOU Xiaojian ,  

CHEN Enguo ,  

XU Sheng ,  

YE Yun ,  

GUO Tailiang ,  

摘要

양자점 색상 변환은 신형 디스플레이 장치의 전체 컬러 구현과 디스플레이 색 영역 향상을 위한 효과적인 전략이지만, 양자점 환경의 낮은 안정성이 그 적용과 발전을 제한합니다. 본 논문은 자기 제한 표면 반응 특성을 지닌 원자층 증착 공정을 기반으로, 양자점 색상 변환막 위에 조밀한 산화알루미늄 봉지막을 현장에서 성장시키는 방안을 탐색하였습니다. 이 봉지 방법은 높은 광투과율과 높은 조밀도를 가진 재료를 밀착된 공정과 효과적으로 결합합니다. 시뮬레이션 결과, 산화알루미늄 봉지된 양자점 색상 변환막의 광출력 강도는 봉지되지 않은 94.9%에 달했습니다. 또한 실험 결과 산화알루미늄 봉지 기판의 광투과율은 비어 있는 기판의 96.4%이며, 고온 고습(85 ℃, 85% 상대습도) 환경에서 240시간 작동 후에도 봉지된 양자점 색상 변환막의 광변환 효율은 초기 60.8%를 유지하여 봉지되지 않은 광변환 효율(11.43%)에 비해 63.9% 향상되었습니다. 이 봉지 방법은 양자점 색상 변환막의 광출력 강도에 영향을 주지 않으면서 안정성을 효과적으로 향상시켜 양자점 색상 변환막의 안정성 향상을 위한 실현 가능한 방안을 제공하며, 원자층 증착 공정의 광전 디스플레이 분야 적용을 확장하여 중요한 과학적 의미와 응용 전망을 가집니다.

关键词

산화알루미늄; 원자층 증착; 양자점 색상 변환막; 광투과율; 안정성.

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