970 nm 고출력 격자 외부 공진기 가변 반도체 레이저

SU Peng ,  

GAO Xin ,  

ZHANG Yue ,  

ZHAO Renze ,  

FU Dingyang ,  

BO Baoxue ,  

摘要

광대역 반도체 레이저는 레이저 펌핑, 레이저 가공 등 다양한 분야에 널리 사용되고 있습니다. 광대역 반도체 레이저의 출력 스펙트럼이 넓고 조정 범위가 작은 문제를 해결하기 위해 각각 28% 및 55% 회절 효율을 갖는 반사형 회절 격자를 피드백 소자로 사용하여 970 nm 파장 격자 외부 공진기 반도체 레이저를 구축하였습니다. Littrow 구조 레이저 매개변수가 성능(조정 범위, 출력 전력, 임계 전류, 선폭)에 미치는 영향을 연구하였습니다. 실험 결과, 구조 최적화를 통해 좁은 선폭의 조정 가능한 레이저 출력을 얻을 수 있으며 적절한 온도 상승과 높은 회절 효율의 격자 사용이 레이저 조정 범위를 증가시킬 수 있고, 높은 회절 효율의 격자가 레이저의 임계 전류를 낮출 수 있음을 보여주었습니다. S 편광 입사 방식을 기반으로 한 격자 외부 공진기 레이저는 최대 27.87 nm의 파장 조정 범위를 실현할 수 있으며, 스펙트럼 선폭을 0.2 nm까지 좁히고 출력 전력은 1.11 W에 달합니다.

关键词

반도체 레이저; 회절 격자; 파장 조정; 임계 전류

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