DC 플라즈마 화학기상증착(DC-PJCVD)법으로 성장시킨 다결정 다이아몬드 박막 위에 Au 인터디지털 전극을 제작하여 금속-반도체-금속(MSM) 구조의 태양 맹검 자외선 검출기를 구성하였다. 다양한 포토리소그래피 공정이 제작된 다이아몬드 검출기 성능에 미치는 영향을 연구하였다. 결과는 리프트오프(lift-off) 포토리소그래피 공정으로 제작된 장치가 습식 포토리소그래피 장치보다 성능이 현저히 우수하며, 광전류 I_light는 4.4배 증가하고 광암전류비는 6.8배 향상되었으며 25 V 전압에서 감도가 9배 향상되어 0.15 A/W에 도달함을 보여주었다. 이를 바탕으로 Au, Ti, Ti/Au 및 Ag 네 가지 다른 금속의 인터디지털 전극을 리프트오프 공정으로 제작하여 다양한 금속 전극이 적용된 다이아몬드 자외선 검출기의 성능 차이를 비교하였다. 그중 Ag 전극은 장벽 터널링 효과로 인한 이득으로 네 가지 전극 중 가장 우수한 성능을 보였으며, 25 V 바이어스에서 I_light가 0.21 μA에 달하고 감도가 0.78 A/W로 향상되어 기존 보고된 장치 성능과 동등하였다. 일반 Au 전극으로 제작된 장치에 비해 광전류는 5.2배, 광암전류비는 7배, 감도는 5.2배 증가하였다.

다이아몬드 박막;리프트오프 포토리소그래피 공정;Ag 전극;태양 맹검 자외선 검출기