기존 Micro-LED 칩의 대량 이송 및 본딩, 발광 칩과 구동 전극 간 고품질 접촉과 같은 기술적 난제를 해결하기 위해 본 논문에서는 금속유기화합물 화학기상증착 및 원자층 증착 공정을 이용하여 전기적 접촉이 없는 질화갈륨 기반 Micro-LED 소자를 제작하고, 소자의 전압-전류 특성, 밝기-주파수 특성, 발광 지연 특성 및 임피던스-주파수 특성 등 광전 특성을 연구하였으며, 소자의 작동 원리를 분석하였다. 실험 결과, 교류 구동되는 전기적 접촉이 없는 Micro-LED 소자의 전류는 주파수가 증가함에 따라 증가하였고, I‑V 특성은 선형 관계를 나타내었다. 20 V 최고 전압 구동 신호 하에서, 소자의 밝기는 주파수 증가에 따라 처음에는 증가하다가 이후 감소하였으며, 25 MHz 주파수에서 소자의 밝기가 최대에 달했고, 발광 피크가 전류 피크에 비해 지연되어 소자의 발광에 지연 현상이 있음을 시사하였다. 소자의 등가 임피던스는 주파수 증가에 따라 먼저 감소하다가 안정화되는 경향을 보였으며, 약 53 MHz 주파수 근처에서 음전용량 현상이 나타났다.

Micro-LED 소자; 질화갈륨; 전기적 접촉 없음; 교류 구동; 광전 특성